精密U形壓力計是真空測量標準的基礎，而另外三種圭要真空測量標準都可以說是它的發展：壓縮式真空規可認為是“具有放大系數的U形壓力計”；膨脹式校準系統的前級標準是精密U形壓力計；動態流量法校準系統的上游標準是壓縮式真空規或精密U形壓力計。制做精密U形壓力計時要考慮如下幾點：

①選用較大內徑的玻璃管(約為30mm)，以降低毛細管作用。

②選用透光性好的薄壁玻璃管，以降低光的不規則折射對讀數的影響。

ƒ采用三支管甚至四支管的結構，以降低安裝傾斜所帶來的誤差。

④嚴格恒溫，以減小溫差和溫度變化所引起的誤差。

⑤采用先進的精密測長技術和儀器。已采用的測長儀器有測高儀(精度為0 .02mm)、點接觸測微計(精度為0.002mm)、光學干涉儀、超聲干涉儀等。

帶有點接觸測微計的精密U形壓力計如圖11-6所示。這種結構的精密油U形壓力計的誤差為（1.6×10-2Pa+畚讀數值）。這種結構的精密水銀u形壓力計的誤差為（4×10-1Pa+齋讀數值）。

美國國家標準局研制成功的脈沖超聲干涉儀壓力計是四支管結構的U形壓力計(圖11-7)，其測長分辨率為O.OIUm。日本研制成功的激光干涉儀U形壓力計的測長分辨率為0.3pun。

圖11-6點接觸測微計U形壓力計水平扳圖

11-7脈沖超聲干涉儀壓力計（a）汞壓力計；(b)油壓力計。