真空度測量與真空規校準概述
發布時間:2019-05-07 17:24:54 | 人感興趣 | 評分:3 | 收藏:
真空度測量與真空規校準是真空技術的重要組成部分。
真空度測量指的是在低于大氣壓的條件下,對氣體全壓力的測量。
真空計是測量低于1. 01×105Pa(一個大氣壓)的全壓力的測量儀器,一般由真空規和控制線路兩部分組成。
真空規可分為絕對真空規和相對真空規。絕對真空規是從所測出的物理量就能直接計算出氣體壓力的真空規。相對真空規是根據輸出信號與氣體壓力之間的關系,通過真空測量標準校準后才能確定的真空規。
真空測量標準可分為絕對真空校準裝置和相對真空校準裝置兩大類。絕對真空校準裝置是從所測出的物理量就能直接計算出壓力來校準真空規。相對真空校準裝置是相對真空規作為主標準器,必須經過絕對真空校準裝置的校準,然后對真空規進行校準。
目前,從大氣壓到10 -10 Pa壓力范圍內真空度的測量問題已經解決了。一般是采用不同類型的真空規去測量不同壓力區間的氣體壓力。但是在解決10-1lPa~l0-13Pa壓力范圍的極高真空測量方面,進展緩慢。要用已有的真空規直接測量特殊條件下的真空度是困難的.還要對規的結構、工藝、理論等多方面的問題進行探討。真空系統中稀薄氣流的非均勻分布問題,以及對非均勻氣流的壓力測量,已成為近年來詳加研究的課題。
在從大氣壓到10 -lOPa壓力范圍內,已有各種類型的絕對真空規和絕對真空校準裝置,并從大氣壓到10-7Pa壓力范圍內開展了各種雙邊和多邊真空量值的比對工作,取得了較好的一致性。在l0-8Pa~lO-lOPa壓力范圍內沒有進行過任何比對。因此,要達到真空量值的國際統一,還有大量的工作要做。
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