1．成套微型計算機系統。此方案配置方便，但是價格較貴。當采用此方案時，要考慮微型計算機的機型、內存、外圍設備及軟件的選用。
     2．工業控制機。此方案方便、靈潔，可根據被控真空裝置及工藝的控制要求，購置適當的模塊，構成控制系統。當采用此方案時，要求考慮工業控制機的系列類型、功能模塊、外圍設備及軟件的選用。
     3．自己設計制造微機系統。根據需要購置中央處理單元、存儲器(ROM、RAM)和接口器，件，自己設計制造專用的微機控制系統。此方案實用性強、價格低，但是，它要求一定的保障條件。
     4．利用單片機及其擴展系統。