計算機發展初期，在真空技術領域中的應用主要是用來進行數值計算。自從20世紀70年代微處理器問世后，計算機在真空技術領域中的應用得到迅速發展，除了用來實現真空裝置及工藝過程的自動控制、真空產品的計算機輔助設計和輔助制造( CAD/CAM)、真空產品性能的計算機輔助測試( CAT)外，還應用到真空設備生產廠的企業管理之中，使其逐步實現工廠自動化成為可能。但是，目前計算機在真空技術中主要還是應用在自動控制方面，以實現真空裝置及工藝過程的程序控制，真空工藝過程工藝參數的數據采集、傳輸、計算、處理、顯示、記錄和調節，對真空裝置的運行狀態進行監視、診斷，從而提高真空裝置的控制品質，使真空裝置的拉制實現真正的自動化。