為實現真空裝置的程序控制、真空工藝流程的自動轉換、真空工藝參數的自動調節，通常是用一些自動控制元件、真空計、壓力控制儀和工業自動化儀表、自動控制裝置、微型計算機等組成的自動控制系統來實現。不同的真空裝置其自動控制系統不同，即使是同一類型真空裝置，因控制的技術要求不同，所采用的自動控制系統也不同。

      常用的真空裝置自動控制系統有繼電器控制系統、壓力控制儀或工業自動化調節儀表系統、可編程序控制系統、計算機控制系統等。它們各具特點，分別適用于不同的真空裝置的控制。它們的性能比較如下：

真空裝置各類控制性能表
 

自動控制系統是真空裝置的重要組成部分，它對提高真空裝置的技術性能起著重要作用。在確定真空裝置的控制系統時，應在z*大限度地滿足真空裝置及其真空工藝對控制要求的前提下，妥善處理真空裝置的機械結構和自動控制系統的關系，力求控制系統簡單、經濟，不宜盲目追求高度自動化；要合理選擇自動控制元件、自動儀表及自動控制裝置，保證真空裝置安全、經濟、可靠，并且便于操作和維修。

真空裝置的自動控制系統的種類繁多，能實現的控制目標也不同，因而其設計方法也不相同。通常是根據真空裝置的類型、技術指標、工藝流程、傳動參數、動作要求及現場條件進行。自動控制系統設計包括原理設計和工藝設計。其原理設計主要是選擇控制方案、繪制控制原理圖、編制設計計算說明書等；工藝設計的目的是實現原理設計的技術指標，為控制裝置的制造、調試、使用和維修提供控制系統的元器件布置圖、總接線圖，編寫使用說明書等。