【康沃真空網】在真空裝置控制中，表征程序控制系統的性能指標是其實現控制的速度、準確性和可靠性；而對于如真空度（壓力）自動調節等自動控制系統，其具體的要求是：
　　(1)系統的穩定性
　　當系統給定值（或擾動）發生變化時，被控制量將會偏離原值，由于反饋環節的作用，通過系統內部控制裝置的自動調節，系統可能回到（或接近）原來的穩定值或跟隨給定值穩定下來。但是，也可能由于系統內部的相互作用，使系統出現不穩定狀態。顯然，不穩定的系統無法工作。因此，對任何自動控制系統的要求，s*要的是系統的穩定性。
　　(2)系統的動態特性
　　由于系統的控制裝置的某些元、部件和被控制對象通常具有一定的慣性（如機械慣性、電磁慣性、熱慣性等），并且電源功率、氣源流導、真空泵的抽氣速率等為有限值，故系統中的各種量值（如壓力、真空度、溫度、電流籌）的變化不可能是突變的，因此，系統從一個穩態過渡到新的穩態都需經歷一個過渡過程。表征系統過程性能的參數叫做系統的動態性能指標。為了使這類控制系統在不同條件下其動態特性具有可比性，人們通常是在某一時刻系統加一個單位階躍的給定值，然后，根據系統的過渡過程曲線（圖10-217）的參數，來表征系統的動態特性。
　　①衰減比：即兩個相鄰的波同方向幅值之比，如B1 /B2等。衰減比是衡量系統穩定性的指標，通常以4：1～10：1為宜。
　　②z*大偏差：即過渡過程曲線的z*大峰值與給定值1的差，即B1。它表示被控制量偏離給定值的z*大差值。
　　③穩態偏差：是單位階躍給定值作用后，系統過渡到穩態時的余差。它是表征自動控制系統控制的精度的指標。
　　④調整時間：即TS，也稱回復時間，是系統受到單位階躍給定值信號作用時，從過渡狀態恢復到允許的偏差所需要的z*短時間。它是表征自動控制系統控制速度的指標。
　　⑤振蕩次數：在調整時間內被控制量振蕩的次數，其數值越小，則表征系統的動態性能越好。