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累積法檢漏具體操作步驟
發布時間:2019-05-07 17:28:58 | 人感興趣 | 評分:3 | 收藏:

①氦罩未充氣前,關閉檢漏儀的高真空閥,經At時間后,記錄輸出儀表讀數Il+

②打開檢漏儀的高真空閥,使檢漏儀恢復到起始狀態;

③氦罩通氦,關閉檢漏儀高真空閥,經過At時間,讀出輸出儀表讀數I2+


④將△I1+和△I2+代入式(13-93)就可大致推算出漏孔的漏率q。此時,應注意式(13-93)和式(13-94)的前提是,在累積時間△t內檢漏儀噪聲是不變的。但實際上噪聲是會有較大變化的,假設時間△t后噪聲增大到初始值的f倍,則

⑤被檢件中應盡可能不用或者少用容易吸氦的真空橡膠、油脂、塑料等材料。

有些檢漏儀的擴散泵與質譜室之間沒有閥門,這時,可在外接法蘭處增設一個供累積法檢漏使用的閥門,不過此時式(13-93)~式(13-95)不再成立。

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