吸入法檢測的是大氣中氦濃度的變化，令在大氣中氦質譜檢漏儀指示的本底及本底噪聲為I1和△I，對應于氦濃度變化△γ時，信號為I2，則z*小可檢氦濃度γmin=（△I·△γ）/（I2-I1）。其中I2-Il為信號，△I為噪聲，認為信噪比為1時為z*小可檢。

①一定濃度氦氣的配置。配置一定濃度△γ（認為△γ遠大于大氣中的氦濃度）的氣體，有兩種方法：

a．流量法  z*簡單的裝置是在一個體積為V的容器上面裝一個標準漏孔并充以氦氣，容器內為大氣壓pA下的空氣，相應的漏氣率（對氦）為g，ts時間后，在V內建立的氦濃度

其中，假定△γ遠大于大氣中的氦濃度，以及pAV＞＞qts。

b．注氣法  這是一個在真空校準中常用的方法，很簡單，往容器V(容器內為大氣壓pA的空氣)中注人體積為鉚壓力為戶的氦氣，若pAV》pV，建立的氦濃度

其中，假定△γ遠大于空氣中的氦濃度。

②吸入法檢漏的濃庋靈敏度校準。將吸槍的吸嘴插入到上面講的具有一定濃度氦氣的容器V中，由式(13-87)和式(13-88)或式(13-89)，可知濃度靈敏度（即z*小可檢氦濃度）為

其中，I2-I1為信號，△I為噪聲，認為信噪比為1時z*小可檢。