氦罩法也叫氦室法，這種方法是用一個檢驗罩把被檢件包起來（如圖13 - 44所示），檢漏時，先排除罩內空氣，然后充入100kPa的氦氣（或氦氣與其它氣體的混合氣），當檢漏儀輸出指示有變化時，表明處于氦罩下的被檢件有漏孔，罩子可用塑料薄膜制成；對于大批量的小零件，也可制作專用的剛性好的罩子，使所充示漏氣體的壓力高于100kPa，以提高檢漏靈敏度。

檢漏的具體步驟及注意事項：

①先向罩內通人示漏氣體，打開通向標準漏孔的閥門S1，此時，檢漏儀的輸出指示變化△Ii+，此變化正比于標準漏孔的漏率Qs與被檢件的漏率Qt之和。

②關閥門Sl后，輸出儀表的指示減小△Is+，所以被檢件的漏率為

③在讀數期間內要保持氦氣的濃度與壓力恒定。

④排空或回收罩內示漏氣體，準備再次進行檢漏。

應用圖13-45的裝置可對大批量小部件進行連續檢漏。