檢漏的過程，就是用敏感元件來檢示是否有示漏物質通過漏孔。因此，檢漏敏感元件對示漏物質的靈敏程度足選擇示漏物質的主要根據。例如，鹵素檢漏儀一般用氟里昂作示漏物質，如果沒有氟里昂，則可用其它鹵族化合物，如碘仿、四氯化碳等來代替。再如熱真空規檢漏法中，用氫氣就比用氧氣更為靈敏。