我國從20世紀60年代初期開始研制、生產氦質譜檢漏儀，此后，在儀器的研制生產方面有了飛速的發展。已正式投產的國產儀器有10余種，現將部分儀器性能、指標分述如下：ZLS系列某些新型號氦質譜檢漏儀。

目前ZLS系列氦質譜檢漏儀已陸續有近10個型號產品問世，新型號有ZLS-23B、ZLS-34B、ZLS-24C和ZLS-26D/F等。

①ZLS-23B、ZLS-24B、ZLS-24C型氦質譜檢漏儀技術性能見表13-15。

②ZLS-26D/T型氦質譜檢漏儀由北京中科科儀技術發展有限責任公司生產，是新型的全功能氦質譜檢漏儀，機內采用渦輪分子泵作主排氣機，啟動快(僅5min即可使用)o儀器可以在測試口壓強近似大氣時，采用逆擴散方式進行檢漏，也可以在測試口壓強為50Pa以下時采用常規方式進行檢漏。用常規方式檢漏時，可以在分流狀態下檢較大的漏隙(測試口壓強在50Pa—10^-lPa)，也可以在不分流狀態下檢小漏隙(測試口壓強在10^-lPa以下)。測量范圍2×10^-lPa.m3/s—2×10^-12Pa.I113/s。采用光柱和數碼管直接顯示漏率，且可按需要選用適當的漏率單位(儀器已給出四種常用單位Pa.1113/S、Torr.L/s、mb.l/s、atm.cc/s)，讀數方便。儀器有音響報警裝置，報警點可以任意設定，使用方便。本儀器適用對各種零部件作噴吹法(真空檢漏法)、吸槍法(壓力檢漏法)、背壓法檢漏。

主要技術參數：

z*小可檢漏率 優于5Pa·m³/s～10^-12Pa.rll3/S

z*大可檢漏率 2×10^-1Pa·m³/S

漏率顯示范圍 2×10^-1Pa.m³/s～2×10^-13Pa·m³/s

反應時間 不大于3s

質譜室允許工作的z*高壓強 1×10^-2Pa

測試口允許工作的z*高壓強 1000Pa

被檢件由粗抽至檢漏的自動切換點，檢漏點可調范圍 50Pa～10^-1Pa

背壓法檢漏時間可調范圍 5s—30s

儀器的啟動時間 不大于5min

儀器體積 640mm×550mm×980mm。