我國從20世紀60年代初期開始研制、生產氦質譜檢漏儀，此后，在儀器的研制生產方面有了飛速的發展。已正式投產的國產儀器有10余種，現將部分儀器性能、指標分述如下：ZhP-10型氦質譜檢漏儀。

此檢漏儀是磁偏型以氦為示蹤氣體的高靈敏度的質譜計。它具有常規檢漏和逆擴散檢漏兩種方式，漏率能自動顯示。可實現高壓力下(10Pa)檢漏。

技術性能：靈敏度優于2×10^-9Pa.L/s，反應時間小于3s，啟動時間小于40min，液氮消耗量1L/24h。