我國從20世紀60年代初期開始研制、生產氦質譜檢漏儀，此后，在儀器的研制生產方面有了飛速的發展。已正式投產的國產儀器有10余種，現將部分儀器性能、指標分述如下：ZLS-24型氮質譜檢漏儀。

這是一種單級的180。磁偏轉儀器，可檢測漏率范圍是10Pa.L/s～10^-10Pa.L/s，漏率可在主機上直接顯示，顯示范圍是10^-4Pa.L/s—10^ 9Pa.L/s，可在無液氮條件下工作。儀器內設置了粗抽泵以及相應的電磁閥，小型容器的檢漏工作不需再配置輔助抽氣裝置。儀器備有自動快速檢漏附件，可自動地檢出各種小型密封元件的微小漏隙。

(1)技術性能

儀器靈敏度：不使用液氮，全開抽速閥時，優于10^-9Pa.L/s;使用液氮，部分關閉抽速閥時，為10^-10Pa. L/so清除時間不大于3s，質譜室允許z*高工作壓力為10^-2Pa。配上q陜檢附件”，用小型密封器件背壓法檢漏時，z*小可檢漏率：10-7Pa.L/s，檢漏周期：2s—30s;配上“吸槍”，用于密封器件吸氦法檢漏時，z*小可檢漏率10^-7Pa.L/s，

(2)儀器主要組成

儀器由下列兩個主要部分構成：

真空系統部分。主系統由機械泵、擴散泵、冷阱、質譜室、各種真空閥門、冷規和連接管道組成，輔助系統由進氣管、粗抽泵、電磁閥、電阻規、低真空繼電器和連接管道構成。

電器部分。用于主系統所需的電器測量、控制線路，以及輔助系統用的手動、自動控制線路。