我國從20世紀60年代初期開始研制、生產氦質譜檢漏儀，此后，在儀器的研制生產方面有了飛速的發展。已正式投產的國產儀器有10余種，現將部分儀器性能、指標分述如下：5.ZhP-4A型超高靈敏度質譜探漏儀。

ZhP-4A型超高靈敏度氦質譜檢漏儀的特點是采用了兩級串聯的磁場強度相同的90。扇形磁場分析器和兩個串聯的水冷擴散泵，并且應用了差級抽氣，因此，離子源處的抽速穩定，儀器靈敏度可達6.7×10^-1lPa. L/s

(1)性能指標

靈敏度： 6.7×10^-lIPa. L/s

反應時間： 3s

靈敏度穩定性： 不低于6.7×10^-11Pa. L/s

極限壓力： 1×10^-4Pa

啟動時間： 1.5h

(2)主要組成(圖13-38)

分析器：分析器是兩級900扇形成C形串聯的磁偏轉型分析器(用磁鐵)，兩級之間沒有第二次加速，電磁參數也相同，氦離子軌跡半徑均為60mm.離子源：離子源是用磁場準直的尼爾型源，它由加速透鏡、聚焦電極、電離室和兩個陰極組成。

接收放大器：包括接收縫組和靜電計級。

真空系統：真空系統由機械系、兩個水冷油擴散泵、節流閥、冷阱、組合閥、貯氣瓶、三個低真空閥、兩個熱偶規管、冷規等組成。真空系統是串聯差動抽氣系統，抽速高度穩定。不停擴散泵可以換陰極。工作時允許短時間停機械泵。儀器在啟動時可用大抽速，工作時用小抽速。

電氣部分：它包括離子源供電線路、放大器電源、真空測量線路、加速電壓源與直流放大器、高壓電源、鐵磁諧振穩壓器I和Ⅱ、輸出儀表、靜電計以及操縱面板等。儀器裝有真空聯鎖及停水警報器。