我國從20世紀60年代初期開始研制、生產氦質譜檢漏儀,此后,在儀器的研制生產方面有了飛速的發展。已正式投產的國產儀器有10余種,現將部分儀器性能、指標分述如下:1、HZJ-1型、TL-1型和JLH-1型氦質譜檢漏儀
它們在結構上是完全相同的,性能上也比較接近。下面僅以HZJ-1型為例加以介紹。
(1)技術性能
儀器靈敏度:5×10^-7Pa. L/s;
工作真空:2×10^-2Pa。
(2)儀器的主要組成
儀器的方塊圖如圖13-34所示。儀器由兩大部分組成:真空部分——包括節流閥、冷阱、質譜室、擴散泵、機械泵等。電器部分——包括放大器、振蕩器、發射電流穩定器、穩壓電源等。儀器箱架由角鐵制成,電氣部分裝在箱架的前半部,真空部分裝在后半部,操縱面板傾斜安裝在箱架的頂部。儀器底部裝有滾輪。
此儀器的真空系統中只設有一個節流閥(沒有前級閥、抽速閥、放氣閥),也沒有前級真空指示,使用與維修不太方便。