在選擇與使用氦質譜檢漏儀時，要注意工作真空Pp。極限真空pL及節流閥的抽速Sj。這些都是儀器的重要參數。

檢漏時，被檢件除了可能有漏氣外，不可避免地還會有出氣，如果不加輔助真空系統的話，被檢件的漏氣與虛漏的總氣流量Qo+y-QiE參考式(13-1》就要全部通過檢漏儀系統。為了保證儀器能正常工作，應滿足這樣的條件，即：

由此可見，工作壓力pp越高，節流閥處抽速Sj越大，檢漏儀就越能適應在惡劣條件下進行檢漏，對于大容器檢漏此問題尤為重要。

SjPp比較小的儀器，只適用于小型的、去氣較好的器件的檢漏。儀器的pp不應設計得太低，因為儀器運轉時，要達到較低的pp是費時間的。一般pp選擇在10^-2Pa～l0^-3Pa范圍。

檢漏時如果質譜室中的壓力太低，需要通過針閥放入氣量QT使質譜室的壓力達到Pp值。如果節流閥的抽速為Sj，即QT=SjPp。由式(13-46)可知，對于某一給定儀器來說，qmin是一走值，因此，Sjpp越大，即QT越大，Ymin就越小，也就是儀器的濃度、靈敏度就越高，對檢漏越有利。對漏氣和出氣都很大的被檢件進行檢漏時，Sjpp也是越大越好。因為此時必須加輔助真空系統來幫助儀器抽氣，輔助系統起分流作用，會降低檢漏靈敏度。但Sjpp越大，輔助系統的分流作用就會越小，檢漏靈敏度也就降低得少一些。