反應時間與清除時間表明了檢漏儀的動態特性。一般規定氦質譜檢漏儀的反應時間與清除時間不得大于3s。

定義：若儀器本底輸出指示為零(或補償到零)，質譜儀節流閥完全開啟，由節流閥處送入一個恒定的氦流量，輸出儀表指示上升到z*大值的(1-已一1)倍處，即63.2%處所需的時間定義為反應時間rR o達到穩定的z*大指示值后，停止送氦，輸出指示下降到z*大值的e 1倍處，即36.8%處所需時間定義為清除時間rc。通常TR=tc=r。

反應時間rR與清除時間rc是由儀器抽氣系統的抽速、流導、體積等真空系統的參數所決定的，也與離子流放大器等電子學線路的時間常數有關。如檢漏儀內含有能吸收或放出氦氣的材料和零件，也會影響TR和rc的測定。當輸出指示與漏率的關系為非線性時，會對TR和億的測定帶來較大的誤差。

因此，測TR相記時，送進的氦流量不宜與gmin值差得太多。

測試方法：測試裝置如圖13-30所示。S1和S2.為兩個快動閥門。閥門S1以及和它相連的管道的流導應大于節流閥的抽速。送氦前將

漏孔進氣端抽成真空，關閥S2，打開閥S1，測出儀器本底輸出讀數Il。配好氦氣后，打開S2，使氦氣進入漏孔進氣端，當輸出儀表指示穩定后讀出指示值I2。關閥S2，打開閥S3把漏孔進氣端重新抽空待輸出指示恢復到I1后，關閥S3，打開閥S2，記下從打開閥S2到輸出儀表指示值為I1+(I2 - 11)×63%時所需的時間，即得到rR。待升到I2后，關閥門S1，記下從關閥S1到輸出儀表指示值為Jl十(I2 - 11)×37%時所需的時間即為rc。

這里假定L、S2、S3之間的體積很小，操作中對氦壓力的影響也很小。

應該注意的是，此處所測得的rR已包括漏孔L的時間常數在內。對于玻璃白金絲型漏孔，因漏孔的時間常數很小，對TR沒有太大影響。但是，有些漏孑L的時間常數很大，在測定rR時不宜采用這樣的漏孔。