評價一臺氦質譜檢漏儀，需要全面地看它的主要性能指標，這些指標是：

1.靈敏度及其校準

關于氦質譜檢漏儀靈敏度的定義，在世界各國還不很一致，在我國基本上都是用z*小可檢漏率來表示的。

氦質譜檢漏儀的靈敏度，即z*小可檢漏率qmin，就是在儀器處于z*佳工作條件下，以一個大氣壓的純氦為示漏氣體，進行動態檢漏時所能檢出的z*小漏孔的漏率。所謂“z*佳工作條件”系指被檢件出氣很少，且沒有較大漏孔，同時儀器本身的參數調整到z*佳工作狀態等條件;所謂“動態檢漏”即指檢漏時不用累積法，檢漏儀本身的真空系統仍在正常抽氣，儀器的反應時間不大于3s(其中真空系統的時間常數不大于1s)等情況;所謂“z*小可檢”是指信號是本底噪聲的兩倍(美國規定為一倍);所說的“漏孔的漏率”系指100kPa的干燥空氣通過漏孔向真空端(壓力遠比100kPa低)的漏率。qmin可表示如下

氦質譜檢漏僅只是一種對氦分壓變化有反應的儀器。為了表征儀器的這種性能，以便于在實際使用時(如當質譜室處于工作壓力下，用輔助泵抽氣或用累積法檢漏時)能方便地估計檢漏效果，z*好給出儀器的z*小可檢濃度γmin，即濃度靈敏度。

檢漏儀的濃度靈敏度γmin，就是在質譜室處于工作壓力下，使用該儀器所能檢示的大氣中的z*小氦濃度的變化。工作壓力一般為10^ -2Pa～l0^-3Pa，z*小可檢濃度系指信號與儀器噪聲比為2或1時的氦濃度。因此，濃度靈敏度可由下式表示

關于靈敏度校準的方法在資料[357，408—410]中均有說明。從式(13—43)與式(13—44)可看出，靈敏度的定義是建立在漏率與輸出指示成正比的基礎上的，因此靈敏度的校準就必須在儀器的線性工作范圍內進行。而且校準時用的標準漏孑L的漏率z*好接近儀器的靈敏度的數值，以免因輸出指示的非線性造成較大誤差。為慎重起見，新研制出來的儀器應測出△J+～Qo曲線，以判斷線性關系的范圍;

校準裝置如圖13—28所示。L是標稱漏率為Qo的玻璃白金絲型標準漏孔，T為針閥，q為流量計(用來測量通過針閥的干燥空氣的流量)。

漏量靈敏度校準啟動儀器，調整好工作狀態，完全打開截流閥，用針閥調節儀器工作壓力，關好閥門是，打開閥門S1，用機械泵把標準漏孔進氣端抽空，測儀器的噪聲，轉動閥門S1，使漏孔進氣端與配氣系統接通，由配氣系統向漏孔進氣端送入壓力為PHe的氦氣，測出與之相對應的輸出儀表的指示變化AI+，則

校準漏量靈敏度時，不需測量通過針閥的空氣流量，所以可以不用流量計。

濃度靈敏度校準如果檢漏儀的極限真空遠高于工作真空時，可用針閥T放進空氣使質譜室中的壓力調節到工作壓力。此時，通過針閥T的流量QT，相當于工作真空時質譜室內的空氣的總流量，有

比較式(13-45)與式(13-46)兩式，可知q=QTγmin

為了在檢漏中標定被檢漏孔的大小以及所檢示的濃度大小，有時還需要知道偏轉靈敏度(即靜態靈敏度)j

靜態漏量靈敏度sq為檢漏儀處于工作狀態下，維持抽速不變，引起輸出儀表產生一個分格變化時的示漏氣體的流量，即

式中Q He——氦氣流量；

a——由Q He引起的讀數變化的格數。

靜態濃度靈敏度sγ是在工作壓力下，引起檢漏儀輸出表產生一個分格的變化時，所對應的檢漏儀內示漏氣體的濃度變化值，即

sγ=△γ/a                      (13-48)

式中△γ——檢漏儀內氦濃度變化;

a——由△γ引起的讀數變化的格數。

不難看出

在美國真空協會推薦的《質譜檢漏儀的校準》標準中，關于靈敏度有如下定義：靈敏度：標準漏孔產年的信號/標準漏孔的空氣漏率

靈敏度的單位是單位漏率產生的偏轉格數。因此，靈敏庋與z*小可檢漏率的關系是：z*小可檢漏率=z*小可檢測信號/靈敏度

可見此處的靈敏度= 1/sq。

在校準氦質譜檢漏儀靈敏度時，如果所使用的是不帶氦室的開放型標準漏孔，那就需要由配氣系統向漏孔提供一定壓力的氦氣。配氣系統如圖13-29所示。圖13-28右側的虛線框是另一種配氣系統。

圖13-29(a)的配氣系統是用來降低漏孔進氣端的氦壓力的。活門S2與&之間的體積為V，活門S3與S4之間的體積為u，活門S3的小體積為可7，如圖13-29(b)所示。活門S1、S2與漏孔間的體積遠小于V。開始配氣時，把放氣活門S8關住，打開所有的活門后用機械泵將整個系統抽空。再關上活門S1、S2、S3，在S3與S4之間的體積口中充入壓力為P1之氦氣。壓力P1由U形計讀出。p1的大小由活門S9、S10調節。關上S4，打開S3，將體積勘內的氦氣膨脹到大體積V中，因此在大體積V內便可得到氦壓力Po

打開S2，讓氦氣進入標準漏孔進氣端，由于活門S1、S2與漏孔間的體積遠小于V，因此在標準漏孔進氣端便可得到氦壓力Po。