氦質譜檢漏儀的一個新發展是返流檢漏儀的出現，如圖13-33所示。此儀器的優點是，由于它的質譜室是處在高真空一側，被檢件則接在前級位置，因此能在較低真空度下對被檢件進行檢漏，且減少丁被檢件中的污物對質譜室的污染。這種儀器是根據油擴散泵各級噴嘴的壓力比是與氣體質量有關的原理制成的。

擴散泵每級噴口的壓力比(即壓縮比)可以表示為：

由上式可以看出，氣體質量越小，壓力比也越小。多級擴散泵的壓力比可達到：對氦為102，對空氣中的其它氣體成分為10^4～10^6。當質譜計管接在泵的人口處，被檢件接在泵的前級管道時，氦氣通過漏孔進入前級管道后，仍有部分氦氣返流到質譜計管中去，并給出漏氣信號。此種檢漏儀的靈敏度估計可達到10^-5 Pa.L/s～10^-8Pa·L/s。