擴散泵每級噴口的壓力比(即壓縮比)可以表示為:
由上式可以看出,氣體質量越小,壓力比也越小。多級擴散泵的壓力比可達到:對氦為102,對空氣中的其它氣體成分為10^4~10^6。當質譜計管接在泵的人口處,被檢件接在泵的前級管道時,氦氣通過漏孔進入前級管道后,仍有部分氦氣返流到質譜計管中去,并給出漏氣信號。此種檢漏儀的靈敏度估計可達到10^-5 Pa.L/s~10^-8Pa·L/s。