氦質譜檢漏儀由離子源、分析器、接收器、真空系統、電子線路及其它電氣部分組成。目前的氦質譜檢漏儀基本上都是磁偏轉型的。現以1800的磁偏轉型儀器(例如HZJ-1型氦質譜檢漏儀)為例加以說明。圖13-27是儀器的原理圖。

在質譜室的離子源N內氣體被電離成離子。在電場作用下離子聚焦成束，并以一定的速度經由縫隙S1進入磁分析器，在均勻磁場的作用下，具有一定速度的離子束，將按圓軌跡運動。其偏轉半徑可按下式計算

由上式可以看出，當H和U為定值時，對應于不同的M有不同的R。HZJ-1型儀器的H和R是固定的(R =4cm)。調節加速電壓U使氦離子束M2恰能通過縫隙S2到達收集極K而形成離子流。利用弱電流量測設備，使之在輸出儀表與音響裝置上反映出來。而其它不同于M2的離子束(如圖中M]，M3)則以不同的偏轉半徑而被分開。