當鉑加熱到800℃～900℃時會產生正離子發射，在鹵素氣氛中這種正離子發射將急劇增加，這就是所說的“鹵素效應”。利用此效應而設計的檢漏儀禰為鹵素檢漏儀，其原理如圖13-24所示。它的敏感元件是一個二極管，這個二極管的內、外筒及加熱絲都是用鉑制成的。內筒被熱絲加熱后發射正離子，外筒收集正離子，離子流的大小可用檢流計(或經放大器放大后)指示出來，也可用音響來指示。有的儀器的敏感元件沒有內筒而直接用加熱的鉑絲做發射極。加熱絲的供電可用直流或交流電源。

根據使用條件不同，鹵素檢漏器可分為兩類：敏感元件與待檢系統相連的稱為固定式鹵素檢漏儀;不與待檢系統連接的稱為攜帶式鹵素檢漏儀。前者在檢漏時需要將被檢系統抽到10- tPa—10Pa的真空度，示漏氣體(鹵素氣體)通過漏孔從外面進入系統中，并進入敏感元件所在空間。攜帶式鹵素檢漏儀則要求被檢系統預先充以高于一個大氣壓的示漏氣體，儀器探頭(敏感元件)在大氣中工作，將通過漏孔漏到外面來的示漏氣體由探頭檢示出來。

鹵素檢漏儀的z*小可檢漏率可達10^ -7Pa.L/s。示漏氣體采用氟里昂、氯仿、碘仿、四氯化碳等鹵素化合物，其中以氟里昂-12(CC12F2)效果z*好。