近幾年來有人用掃描方向規進行檢漏。在真空容器中，當氣體分子自由程大于容器尺寸時，從器壁上的漏孔進入的氣流有分子束射效應，也就是在束流方向的氣體密度要比其它地方大。因此當掃描方向規的管口對準漏子L時，指示的壓力讀數就會升高，于是可找到漏孔的位置。已經做成的實驗儀器，如圖13 -17所示，根據理論計算與實驗結果，其檢漏靈敏度可達10^-9Pa.L/s，與氦質譜檢漏儀的靈敏度相當。它的優點是不用特殊的示漏氣體，適于對真空容器中難以接近的部位進行檢漏;缺點是，如果漏孔與規管之間有障礙物時，用此法檢漏可能是無效的。