關于熱傳導真空規法、電離真空規法及差動真空規法在前面已分別做了介紹,它們的靈敏度可用共同的表示式來表示。
設真空系統上有一個漏率為q的漏孔,當漏孔進氣端為一個大氣壓的空氣時,真空規讀數為N,當漏孔進氣端進入某一示漏物質時,真空規的讀數為N2,若q=0時,真空規的讀數為No。引進一個系數φ,且令
φ稱為折合系數。
若真空系統抽速為S,真空規z*小可讀出的壓力變化為△pA(對空氣),則z*小可檢漏率為:
若工作壓力為pA,且令 的幾種真空規法的φ與△pA分別列于表13-8和表13.9中,ApA與pA的關系曲線如圖13 -15所示。
表13—8和表13 -9以及圖13 -15的使用方法舉例說明如下:如以氫氣為示漏氣體,用單一電離真空規檢漏,由表13-9可知垂- - 0.4,若抽速S- 10L/s,pA - 10-4Pa,由圖13 -15的曲線(1)可知ApA=2×10-6Pa,利用式(13 - 37)得出
可見其結果與由式(13 - 32)計算的結果基本上是一致的。