可以應用具有吸附阱的單個真空規管進行檢漏。z*早是用液態空氣冷卻的硅膠阱與冷陰極電離規配合進行的，靈敏度可到l0^-8Pa·L·s—l0^-10Pa·L·s-1。

下面介紹一下此種檢漏儀的工作原理。具體結構如圖13-16所示，吸附阱內裝有20crrr3的硅膠顆粒，顆粒的直徑約為1mm～2mm。被檢件接于閥門S1和閥門S2之間。開始時，打開閥門1和閥門2，用真空泵抽被檢件和吸附阱，并將吸附阱加熱至300℃除氣2h—3h后，關上閥門1。當被檢件抽到足夠低的壓力時，關閥門2，打開閥門l，用液氮冷卻吸附阱，此時，由于低溫條件下的硅膠對空氣有較高的吸附能力，所以通過漏孔進來的空氣只有很少一部分通過吸附阱，使真空計讀數略有上升。當用示漏氣體如氫氣、氦氣、氖氣噴吹漏孔時，由于硅膠對其吸附能力比對空氣差(約是對空氣的)，因此規管內壓力升高，使讀數有較大變化，從而可以指示出漏孔的存在。

本儀器特點：

①靈敏度比氫鈀法高100倍。當容器內壓力低于10^- 3Pa時.可檢出10^-7Pa·L/s的漏孔;當容器內壓力低于10^-5Pa時，可檢出10^-8Pa·L/s的漏孔;經過某些改進后，甚至可檢出10^ -10Pa·L/s的漏孔。

②結構簡單。

③適用于小型的易于除氣的器件的檢漏。

吸附阱內的吸氣材料如果采用分子篩，其效果會更好些。