差動真空規法也叫橋式真空規法。其具體檢漏裝置如圖13-14所示。它由兩個真空規管和一個阻滯示漏氣體通過的阱所組成，兩個規管的輸出信號以差分形式輸出。

檢漏前，將系統抽成真空，將阱加熱除氣，并將電路調平衡。檢漏時，當示漏物質通過漏孔進入系統后，可不受限制地進入個規管內。由于阱的作用，示漏物質進入第二個規管的量要受到限制，這樣，兩個規管的輸出訊號就不一致，給出差分信號，由此便可以指示漏孔存在與否并給出漏孔的大小。

差動真空規法中，規管可用熱阻規、熱偶真空規、熱陰極電離規和冷陰極電離規。相應的阱和示漏氣體有：①氫氧化鈣阱，以二氧化碳為示漏氣體；②活性炭阱，以氫氣或丁烷為示漏氣體。

差動真空規法的優點是：在使用中由于兩個規管電參數的不穩定，真空系統抽速的不穩定等所造成的儀器噪聲得到了補償，所以檢漏靈敏度比單管真空規法高得多，其數值見表13-7。

表13-7差動真空規法的z*小可檢漏率