差動真空規法也叫橋式真空規法。其具體檢漏裝置如圖13-14所示。它由兩個真空規管和一個阻滯示漏氣體通過的阱所組成,兩個規管的輸出信號以差分形式輸出。
檢漏前,將系統抽成真空,將阱加熱除氣,并將電路調平衡。檢漏時,當示漏物質通過漏孔進入系統后,可不受限制地進入個規管內。由于阱的作用,示漏物質進入第二個規管的量要受到限制,這樣,兩個規管的輸出訊號就不一致,給出差分信號,由此便可以指示漏孔存在與否并給出漏孔的大小。
差動真空規法中,規管可用熱阻規、熱偶真空規、熱陰極電離規和冷陰極電離規。相應的阱和示漏氣體有:①氫氧化鈣阱,以二氧化碳為示漏氣體;②活性炭阱,以氫氣或丁烷為示漏氣體。
差動真空規法的優點是:在使用中由于兩個規管電參數的不穩定,真空系統抽速的不穩定等所造成的儀器噪聲得到了補償,所以檢漏靈敏度比單管真空規法高得多,其數值見表13-7。
表13-7差動真空規法的z*小可檢漏率