熱傳導真空規(熱阻真空規和熱偶真空規)是基于低壓力下氣體熱傳導與壓力有關的性質來測量真空系統內的壓力的。此外，還可以利用熱傳導真空規的讀數不僅與壓力有關，而且還與氣體種類有關的性質來進行檢漏。當示漏氣體通過漏孔進入真空系統時，不但改變了系統內的壓力，也改變了其中的氣體成分，使熱傳導真空規讀數發生變化，據此可檢示漏孔的存在。

當漏孔處施以100%濃度的示漏氣體時，熱傳導真空規的讀數變化為

空氣的差差值較大的物質作示漏物質可提高檢漏靈敏度。如，選用氫氣要比選用乙醇的檢漏靈敏度為高。此外，還應選用易于通過漏孔，系統對其抽速又低的物質作示漏物質。適當提高熱傳導真空規的加熱電流，可使（T2 - T1）加大，也可提高靈敏度。