大多數高真空系統上都帶有電離真空規，此時也可用它來進行檢漏。示漏物質通過漏孔進入系統后，規管離子流的變化是

式中Kt和KA分別代表規管對示漏氣體和空氣的靈敏度常數，Ie為燈絲發射電流，其余符號與式(13-29)相同。z*小可檢漏率為

由式(13 - 35)可見，本底流量Qo越小，靈敏度越高;若抽速一定，本底壓力Po越低，靈敏度就越高;Iβ一1 l數值越大，靈敏度越高;越小，靈敏度越高。等取決于系統壓力的穩定度與測量線路的穩定度，因而也就要求系統和規管除氣要好，抽速要穩定，發射電流要穩定，離子流放大器噪聲要低等。

例如，當Po= 10Pa,SA=10L/s，且= 0.02時，如果用氫氣檢漏，p：0.5，可知，qA,min=4×10^-5Pa.L/S。

當漏孔氣流特性為非分子流狀態時，可得類似的結果。當抽速不受流阻限制時，應按式(13 - 32)進行計算。

上面所有的結論對于磁放電真空規也基本上是適用的。