z*早使用的薄膜滲氦型標準漏孔是石英薄膜滲氦型標準漏孔，它是國外用于校準氦質譜檢漏儀靈敏度的z*通用的一種標準漏孔。

帶氦室的石英薄膜滲氦漏孔(如圖13-2所示)的漏率一般為10^-2Pa·L/s～l0^-6Pa·L/s(氦室內氦氣壓力為100kPa左右)。

國內許多單位曾研制過此種漏孔，它對氦氣的漏率可用下式表示

由式(13-9)不難看出，選擇不同的石英薄膜的厚度、面積和充入的氦壓力，就可制成不同漏率的標準漏孔。

由式(13-9)也可以看出漏率與溫度成指數關系。由于溫度對漏率影響很大，使用時應注意修正由溫度變化所帶來的影響。利用漏率與溫度有關這一性質可把石英薄膜滲氦型漏孔做成漏率可調的漏孔。例如，一支在0℃時漏率QHe=1.14×10^-5Pa.L/s的石英滲氦漏孔，在200c時，漏率QHe=6.8×10^-4Pa. L/s，變化近兩個數量級，但是，這個變化過程很慢。

當石英薄膜滲氦型漏孔進氣端的氦壓力改變時，要重新建立穩定的氦流量需要經過比較長的時間，因此，這種漏孔大都做成帶氦室的。

用硬質玻璃薄膜也可制成滲氦漏孔，其漏率為10^-7Pa.L/s～l0^-8Pa.L/s。