真空系統中漏氣流量的平衡表示式如下

式中 p-系統達到的壓力;

Po-真空泵的極限壓力;

S-系統的有效抽速;

Qo-由系統外部流向系統內部的總漏率;

EQi——虛漏所形成的總“漏”率。

所謂虛漏，其來源是多方面的，如真空系統結構材料表面的出氣，試驗物或工件的出氣，系統內各種材料的蒸氣，氣體通過器壁向系統內的滲透以及系統的死空間中氣體的流出等。

檢漏中應注意區分Qo與EQi。相對虛漏EQi而言，漏氣Qo也可稱為實漏。在不特別加以說明時，所說的漏氣都是指實漏。

對于與真空泵隔離開的密封容器或器件(如電子管、半導體器件等)來說，S=O，這時若Po<p，則式(13-1)變成

式中 t-封離后所經歷的時間;

V-密封容器的總體積;

Pt-經歷時間￡后系統(或容器)中的壓力;

p，Qo，Qi與式(13-1)相同。