分壓力靈敏度是衡量質譜計探頭部分檢測靈敏度的指標。與熱陰極電離規相似，分壓力靈敏度常數定義為

式△AI+——被檢測的某一種氣體組分離子流的變化量[A];

APp——離子源內該種組分的分壓力變化量[Pa];

Ie一離子源的發射電子流[A];

S-分壓力靈敏度常數[Pa^-1]。

對于一定的發射電子流，如不計其數值，分壓力靈敏度定義為分壓力靈敏度的單位為A/Pa。