由于四極質譜計錄敏度變化因素很多，給定量測量帶來很大困難，必須在進行大量實驗的基礎上，對儀器進行校準后才有可能進行定量測量。

利用標準混合氣體校準方法，進行系統中的濃度測量已經得到較廣泛應用。操作者可以在測試系統中，引入已知濃度的標準混合氣體進行校準，得到每種組分的校準系數，并將校準系數輸入到計算機給定的參數表中，計算機可將測到的譜強度分別乘校淮系數后再進行計算，給出各組分的濃度值。為了提高濃度的測量精度，計算機可自動將標準氣體引入系統，不斷將校準系數進行刷新，測量時用刷新后的校準系數進行計算。刷新的時間間隔可根據測量的要求而確定。