四極質譜計分壓靈敏度測量可按下述步驟進行：

①將測試系統抽至極限壓力后，向測試系統充入氮氣，使電離計指示壓力高于極限壓力(1～2)倍;

②掃描氮分子峰.調節儀器參數，在保證分辨本領(10%)達到28～35條件下，記錄M=28u峰的離子流Il和電離計的壓力Pl;

③調節進樣，使電離計壓力再增高(1～10)倍，記錄M=28u峰的離子流I2和電離計的壓力P2;

④按公式(12 - 66)計算

式中 C-電離計校準系數。