多離子檢測適用于對系統中某幾種組分進行檢測，使用者可根據自己研究目的，選擇關心幾種組分，研究其隨時間變化趨勢。如真空材料出氣過程分析、系統抽氣過程中，各組分的變化趨勢分析、工業流程在線的真空質譜計對控制氣體組分的監測等。

多離子檢測的質量掃描采用“跳掃”模式，根據要求，預先設定被檢測的組分及檢測該組分的工作參數，儀器只對這幾種組分進行檢測并在計算機屏幕上顯示峰強(或濃度)的走勢曲線。不同質譜計給出的參數設置表不同，但應包括：通道、質量數、質量范圍、離子接收模式(法拉第或倍增器)、掃描速度、靜電計量程等。