質譜儀器的離子檢測，除了可用照相干板的感光度來檢測外，大多采用電子學方法。電測又可分為：直接電測法，即，用金屬電極接收離子流，再用電學方法記錄離子流；二次效應電測法，即，用二次電子倍增器或光電倍增管檢測由離子的二次效應所產生的二次電子或光子，再用電學方法記錄離子流。
 

圖12-39給出電測法離子檢測器的分類。各類離子檢測器按其特性有一定的使用范圍。真空質譜計通常都采用法拉第筒和二次電子倍增器作為離子檢測器。

真空質譜計對離子檢測器的要求為：足夠的動態檢測范圍；穩定性好（經曝露大氣和在較大的電流負荷下，檢測靈敏度保持穩定）；質量歧視效應小；響應速度快；能耐300℃～400℃的烘烤溫度等。