等離子體離子源有許多形式，多用于加速器、同位素分離器和二次離子質譜計等設備。長期以來，這類大型離子源不是用于真空質譜計的，但在z*近報道的幾篇資料表明，這類離子源對氣體分析也適用，文獻[204]介紹了一種陽極區電位均勻的無磁場等離子體氣體弧光放電型離子源（圖12-9）。這種離子源用一個陶瓷管的襯套將放電區域限制在離子引出區，等離子體中的離子通過陽極上的小孔引出。離子的能量分散很小，接近于等離子體的熱能分散。當離子源工作在離子能量為200eV時，可獲得能量分散為O.1eV的微安級的離子流。文獻[20s]詳細報道了熱陰極放電離子源(圖12-10)中的離子能量分布，發現在類似的工作條件下，離子源的能量變化可達1eV左右。

等離子體色譜源是一種可在大氣壓條件下進行電離的高靈敏度離子源，這種離子源通過一個直徑為25U.m的進樣孔和四極質譜計的高抽速真空系統相連，而不采用差級抽氣。從氣相色譜柱輸出的氣體是直接用放射性N63i箔進行電離的，由于源內可供電離的氣體分子總數很多，而且電離后的碎片離子又少，所以它對有機氣體檢測靈敏度仍很高。如對這種離子源再作改進，則有望將其用于粗低真空條件下的氣體分析器。此外，文獻[208]介紹了一種在大氣壓下分析無機鹽的離子源，不過其離子產額較低。