真空分析質譜計的一般要求為：

①儀器探頭尺寸小、質量輕、易于安裝；

②對于磁偏轉型儀器和擺線型儀器來說，儀器的雜散磁場必須很小；

③儀器探頭應具有互換性，成本低，允許一機可配用數個探頭；

④探頭能經受400℃烘烤，離子源能用電子轟擊除氣，以減小“記憶效應”：

⑤儀器的質量標度z*好為線性標度，工作質量范圍的調節要方便；

⑥儀器應易于操作，離子源的工作參數應盡量固定；

⑦具有較高的掃描速度，至少能將一部分質譜顯示在示波器上。

對于分壓計來說，還應要求：

①質譜的峰強和質譜的圖形系數對應真空系統中的氣體量之間應具有一定的定量關系；

②探頭連接管的流導要大，減小壓力差和質量歧視，z*理想的是能作成裸規形式的探頭；

③要求磁偏轉型和擺線型質譜計，在重新安裝磁鐵后，對儀器性能不需再作校準；

④采用低工作溫度的陰極和低發射電子流，以減小對分子的熱分解、電清除及化學清除效應；

⑤采用標準的電子轟擊能量，從而盡可能使用標準的碎片圖形（離子譜）；

⑥良好的峰形、一致的峰寬，便于計算機處理數據。

為特定目昀而選擇儀器時，應s*先從所需要的質量范圍來確定所要求的z*小可檢分壓力，再考慮在此靈敏度下儀器的分辨本領和掃描速度等。