規中的熱絲與氣體相作用會導致氧化、分解和生成新的氣體。前兩種作用造成化學清除，后一作用將引起系統中的氣體成分產生很大的變化。例如，熾熱鎢絲與氣體間的反應可能有由熾熱鎢絲表面分解成的原子氫，很容易被吸附在不同的表面上，并且在表面與其它氣體化合生成一氧化碳、碳氫化物、水蒸氣等新的氣體，從而大大地改變了系統中的氣體組成。
 

此外，二氧化碳與熱絲作用可生成氧氣和一氧化碳，甲烷也會被熱絲所分解。

采用低功函數的低溫陰極，如敷氧化釷一鎢絲(ThQ2/W)等，可以降低上述效應。如果在氧氣中進行高溫預處理來降低鎢絲中碳的雜質濃度，則可以大大降低所嚴生的一氧化碳的數量。