在用有油的抽氣手段（擴散泵和機械泵）抽氣的系統中存在分子量很大的有機油蒸氣及其分裂物。它們的蒸氣壓一般比較低，因此不能用壓縮式真空規測量。如果壓縮式真空規測量機械泵的極限壓力時，要比熱傳導規測得的數據約低一個數量級。

　　
　　用油U形壓力計測量油蒸氣壓力時，因工作油可以溶解油蒸氣，所以也不能得到正確的指示。
　　
　　用熱傳導規測量時，油蒸氣附在熱絲和規壁上，會改變表面性能，引起熱傳導規零點漂移和靈敏度的改變。用電離規測量時，油蒸氣會被高溫陰極表面所分解或由電子轟擊而分解，生成碳氫化合物，污染電極和管壁，使規管的靈敏度和特性發生明顯的變化。規管對油蒸氣的靈敏度要比氣高10倍。要校準電離規對高分子碳氫化合的靈敏度是很困難的，不同資料對低分子碳氫化合物校準的結果也不很一致，但綜合有關數據，可得出電離規對不同碳氫物的相對靈敏度的規律性。
　　
　　通常測量油蒸氣壓力，在粗低真空區間，可用薄膜規測量，在高真空區間可用克努曾規測量。