如果被測氣體是氮氣或惰性氣體（如氦、氖等）就比較簡單。但多數情況下，系統中的氣體是氮、氧、氫、一氧化碳、二氧化碳、水蒸氣、氬、氦、甲烷、汞和油蒸氣等多種氣體和蒸氣的不同組合，其中尤以氧、水蒸氣、油蒸氣等組分會給真空規帶來壞的影響，在選用真空規時必須認真考慮氣體組分對真空測量的影響。

　　氧是理想氣體，所以可用壓縮式真空規進行測量，但分壓過高時，會使水銀表面發生氧化，從而污染玻璃毛細管的內表面，導致水銀毛細壓低值的無規則變化，產生很大的測量誤差。氧對水銀U形壓力計也有同樣的影響。
　　
　　氧氣會使熱傳導規的熱絲氧化，改變熱絲的表面狀態，引起規管零點漂移和靈敏度的改變。如采用抗氧化性好的白金絲作熱絲，則能使規管性能穩定。
　　
　　電離規的熱陰極在氧氣中工作會有明顯的損耗。如果在高于10^-2Pa的氧壓下工作，鎢陰極很快就會被燒壞。如果在低于10^-3Pa的氧壓下工作，鎢陰極兢可以長時間使用。熱陰極電離規對氧氣有較大的抽速，冷陰極電離規對氧氣的抽速更大。
　　
　　在粗低真空區間測定氧壓的z*好規型是薄膜規（尤其是不銹鋼制的電容薄膜規）。也可采用規和規。
　　
　　測量空氣(N2、02)壓力時應考慮規與氧氣的作用。