已建成的動態流量法校準系統按結構分類有如下幾種類型：固定流導法(圖11-71、圖11-72)、可變流導法(圖11-73)及參考轉換器法（圖11-74）等。

         

                      
　　
　　所采用的上游參考標準有精密U形壓力計、壓縮式真空規、精密流量計、電容薄膜規、B-A規等。后兩種是相對規，要經過校準后才能用作參考標準。
　　
　　標準流導U1可采用玻璃毛細管、金屬毛細管、多孔玻璃塞以及金屬微孔等。標準流導U2可采用玻璃圓孔或金屬圓孔。
　　
　　1988年美國國家標準技術研究院(NIST)建立了動態流量法真空校準裝置，測量范圍為10^-1Pa—10^-7Pa，不確定度為1.4%～8.2%。開展了磁懸浮轉子規和熱陰極電離規的絕對校準工作。1992年德國物理技術研究院(PTB)也建立了動態流量法真空校準裝置，測量范圍為10^-2Pa—10^-6Pa，不確定度為1%～4%。進行了小孔流導法真空校準裝置和靜態膨脹法真空校準裝置的比對工作。圖11-75是動態流量法超高真空校準裝置原理圖，校準范圍為10^-7Pa—10^-2Pa，不確定度為3% (10^-2Pa～10^-6Pa)～10%(10^-7Pa)。