動態流量法校準系統設計原則
發布時間:2019-05-07 19:10:24 | 人感興趣 | 評分:3 | 收藏:
概括地說,動態流量法具體地說,有如下四個原則:
①盡可能保證分子流狀態。例如要防止分子束射效應,避免定向流的存在。國際標準化組織公布的草案(ISO/DIS3570/1)中規定,流導U2前后的兩個容器的內切球表面積應比孔U2的面積大1000倍,z*好選用球形校準容器,因為球是一個各向同性的形狀,有利于克服分子束射效應和建立起各向同性運動的分子流狀態。
②盡可能保證等溫條件。例如要考慮熱陰極、冷阱以及低溫泵等冷、熱輻射的影響。
③盡可能采用近于理想圓孔的流導。國際標準草案規定孔徑和孔厚之比(d/L)≥50;
④盡可能滿足S《Sg、pM》p、Q》Qo和p》pe的條件。這主要取決于抽氣系統的設計和pM、U1、U2的選擇,其中z*關鍵的是選擇U2。若選用大的U2,則要求S和Q增大并使p下降,這樣就比較容易滿足S《Sg、Q》Qo和pM》p,但是如果所選擇的U2太大,則會導致定向氣流過強,使校準室中產生非均勻氣流。再者選擇的U2太大就要求泵抽速Se進一步提高,才能滿足p》pe。因此如何恰當地選擇U2,需權衡這些相互制約的因素。國際標準草案規定Se≥50U2。
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