動態流量法校準系統的原理
發布時間:2019-05-07 19:10:29 | 人感興趣 | 評分:3 | 收藏:
圖11-70是動態流量法校準系統的原理圖。
根據氣流連續性方程,有
在穩定平衡時
如果我們用絕對規測量pM,并據分子流理論,按結構尺寸計算出(11- 52)就可計算出壓力p,于是就能對接于校準室上的規管進行校準。
在氣流處于熱平衡的條件下,圓形短管的分子流流導公式為
式(11-56)說明分子流導之比僅是導管尺寸的函數,而與氣體成分無關。這一點使動態流量法更具“絕對性”,也是此法的重要優點之一。
從上述原理可知,動態流量法是把大流量的氣流注入系統中,用串聯的流導建立起氣流動態平衡的校準方法。此法具有如下特點:
①吸附和解吸效應的影響很小:
②在熱平衡的分子流狀態下,流導比僅是結構尺寸的函數,而與氣體成分無關;
③校準壓力下限可隨真空獲得水平的提高而延伸;
④結構和工藝不很復雜。
目前,動態流量法已廣泛用于高真空和超高真空校準,并已成為z*主要方法,其校準壓力的下限已延伸到10^-10Pa。
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