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真空規校準的概述
發布時間:2019-05-07 19:10:40 | 人感興趣 | 評分:3 | 收藏:
  真空標準是真空測量的基礎,也是研究和發展真空測量的有力工具。
  
  在計量學中,計量標準的精度指的是單個量多次獨立測量之間的相互一致的程度。為了確定計量標準的精度,需要對測量歷史和偶然誤差進行研究。計量標準的準確度指的是測量值與其真值之間的相互一致的程度。一般情況下,真值是未知的。為了確定計量標準的準確度,需要對許多測量方法進行互校和對系統誤差進行研究。
  
  建立基準,要求以不同地區(或不同實驗室)相同類型(或不同類型)的計量標準進行互校作為基礎。
  
  建立基準,要求對基準進行直接的(或間接的)國際比對。
  
  目前,長度、質量、時間、溫度等基本計量已做到了國際性的統一,但是,真空標準遠沒有達到這樣的水平,還沒有進行各國真空標準之間的比對,而且真空標準的精度不高,準確度還沒有很好解決,要做到世界規模的真空量值的統一,還要付出巨大努力。
  
  對于相對真空規的校準,可采用與絕對真空規直接比對的方法來進行。但是目前比較可靠的絕對真空規只有精密U形壓力計和壓縮式真空規。所以用直接對比法進行校準的壓力區間僅為10^5Pa—l0^-3Pa,為了擴展校準壓力的下限,已發展了許多不同類型的絕對真空校準系統。
  
  表11-9給出了六種類型的絕對真空校準系統的結構示意圖。
  
  表11-10給出了六種類型的絕對真空校準系統的主要特性。



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