致發射冷陰極彎注規由場致發射冷陰極、離子產生器、離子偏轉器及離子收集極四部分組成，結構如圖11-55所示。離子產生器主要部分是一個Pt-clad-Mo合金柵網，電子由冷陰極發射后在柵網空間振蕩并使氣體分子電離，離子偏轉器利用靜電場使離子偏轉256.4°后打在收集極上。收集極由通道倍增器組成，規管主要部件均由含氫量低的特種不銹鋼制成。
　　
　　由于采用冷陰極消除了高溫熱陰極效應。規管I作前置于10^-4Pa真空中1000℃烘烤24h，大大降低了規管出氣率。采用了256.4°的離子偏轉器，能有效分開氣相離子和ESD離子磁撞解吸離子，大大降低了ESD離子噪聲，另外也使收集極免受X射線照射，大大減小了X射線效應。規管的X射線本底壓力及ESD離子本底壓力降至10^-13Pa量級。采用通道倍增器提高了離子檢測靈敏度，當測量1×10 ^-11Pa壓力時，只需0.01mA的發射電流。