真空規:分離規短收集極規等概述
發布時間:2019-05-07 19:10:57 | 人感興趣 | 評分:3 | 收藏:
分離規(圖11-56)與抑制規不同之處是收集極為短的細金屬絲。增加了離子反射極,沒有抑制極,環形陰極是環繞柵極安裝的。陰極、屏和離子反射極的電壓都是200V,柵極電壓Vg= 305V,發射電流Ie=2mA,離子收集極通過靜電計接地,規管靈敏度系數K=0.98A/Pa,X射線效應引起的下限壓力Px約4×10^-11Pa。此規的主要特點是電子碰撞解吸效應很小。
短收集極規(圖11-57)和掩埋收集極規(圖11-58)的結構與分離規相似,性能也大同小異。
1966年文獻[156]推算短收集規的px約6.7×10 ^-11Pa,預計可測10^ -10 Pa的壓力。但1968年的文獻[157]報道.此規在壓力p<6.7×10^-8Pa時,已漸漸偏離線性。1972年資料[158]認為一般短收集極規(包括上述三種類型)的測量下限約為1Pa—5×10^ -9Pa。
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