彎注規是抑制規的發展，即在抑制規的電離區域與離子收集系統之間增加了一個靜電偏轉系統，使離子收集極系統的軸線相對柵極的軸線偏轉了90°。 　　
　　靜電偏轉系統的作用如下：
　　
　　①穿過聚焦極圓孔的離子束在偏轉極的靜電場的作用下，偏轉90°后到達離子收集極。引出離子束的離子能量分散僅有SeV的寬度，所以只需要一個簡單結構的靜電偏轉系統就能使大部分離子偏轉到收集極上。
　　
　　②偏轉系統對軟X射線來說是一個很好的屏蔽。從聚焦極圓孔射入的軟X射線，只有經過多次反射才能打到離子收集極上，這使彎注規的X射線效應要比抑制規大為降低。
　　
　　彎注規工作參數：陰極電壓Vf=125V，發射電流Ie=2mA，柵極電壓Vg=200V，聚焦極、外偏轉極、屏蔽極處于地電位；內偏轉極電壓Vb=-340V，抑制極電壓Vs=-450V，收集極經過靜電計接地。規管常數K=0.14/Pa。
　　
　　當內偏轉極加正電壓時，離子不能偏轉到離子收集極上，離子收集極上測出的電流主要為剩余電流。當Vs=0時，剩余電流為1×10^-14A;當Vs=-450V時，剩余電流為1×10^-15A，相應的等效壓力為3.3×10^ -12Pa。由此可知，彎注規能夠測量低到10^-11Pa的壓力，也有希望粗略指示10^ -12Pa的壓力。但是由于高溫陰極的存在，陰極的蒸氣壓和出氣速率都可能妨礙獲得< 10 ^-11Pa的壓力。因此能否用彎注規測量低于10 ^-11Pa的壓力，主要取狹于陰極性能。
　　
　　從目前情況看，彎注規是所有極高真空規中z*好的一種，性能穩定可靠。實測到的z*低壓力已達10 ^-11Pa。在沒有極高真空校準系統的條件下，研制新型極高真空規時，大都以彎注規的讀數作為壓力的參考值。