1950年B-A規的發明使測量下限擴展到超高真空(10^-8Pa)。1958年正、反磁控規的出現又把測量下限延伸到10^-12 Pa，從而跨進了極高真空領域。在許多高新技術領域，需要極高真空環境，如宇宙空間模擬、真空表面分析、超導技術、核聚變反應、高能加速器、真空微電子技術和空間航天器等，而在極高真空領域，極高真空規的研究則是必不可少的重要環節。自20世紀60年代以來，隨著極高真空技術的不斷發展，相繼出現了很多類型的極高真空規，從表11-7中所列的數據可知，在實際應用中幾乎所有的極高真空規都不能真正可靠地測量≤10^-12Pa的壓力。因此10^ -11Pa～10^-13Pa壓力區間的測量技術還有待于進一步解決。從極高真空規的發展歷史來看，由于對規管性能研究的深入和校準水平的提高，不斷發現新的下限因素和新的問題，致使多數極高真空規的測量下限指標反而趨于保守。


　　
　　解決10^-11～10^-13Pa壓力范圍的測量技術之所以進展緩慢，可歸結為以下幾方面的原因：
　　
　　①規本身存在各種下限因素； 
　　
　　②不易獲得壓力低于10^ -11Pa的極高真空：
　　
　　③缺少低于10^ -11Pa壓力的可靠的校準系統。
　　
　　從規的本身限制因素來看，可歸納如下：
　　
　　①限制熱陰極規下限的因素：
　　
　　a.與壓力無關的剩余電流：
　　
　　正射、反射X射線產生的光電流；
　　
　　電子碰撞解吸產生的離子流和中性分子流；
　　
　　熱陰極發射出堿金屬離子；
　　
　　紫外輻射產生的光電流；
　　
　　污染電極表面的俄歇電子發射等。
　　
　　b．高溫陰極的蒸氣壓和出氣速率：
　　
　　例如，純鎢陰極在發射電流Ie= 10mA時，鎢絲溫度為2300K，由于鎢蒸發引起規的下限壓力為Pw =1×10^ -10Pa。
　　
　　六硼化鑭陰極在650℃下的出氣速率約為2.7×10 ^-11Pa· L/s。
　　
　　c．測量微電流的困難：
　　
　　例如，在10^-13Pa時，需要測量10^ -17A的離子流，但由于干擾、漏電、噪聲等影響，直接用電子線路檢測這樣小的電流是十分困難的。
　　
　　②限制冷陰極磁控規下限的因素：
　　
　　a．非線性、不穩定性、不重復性、熄火等；
　　
　　b．高電壓下介質極化電流和漏電電流；
　　
　　c．測量10^ -17A離子流的困難。
　　
　　③限制熱陰極磁控規下限的因素：
　　
　　此類規既有熱陰極規和冷陰極磁控規的優點，又有兩者的缺點。
　　
　　熱陰極規、冷磁控規、熱磁控規三者比較起來，在解決更低壓力測量中，熱陰極規具有性能穩定可靠的優越性。冷磁控規和熱磁控規的性能不穩定又不可靠。