氣體的粘滯系數η 用下式表示：

式中 C1-常數;

n -氣體分子密度;

v——氣體分子平均速度;

λ -氣體分子平均自由程。

在高氣壓下，由于λ 與壓力p成反比，而n與壓力p成正比，所以η僅是氣體溫度的函數，而不隨氣體壓力變化。這時如將兩塊相距為d的平板放置在氣體中，并使一板靜止、另一板以速度u運動，則由于氣體具有粘滯性，動板通過氣體會對靜板作用一個切向力F，即

此時F與氣體壓力無關。

在低氣壓下，氣體分子之間的碰撞可以忽略。此時，在兩平板之間氣體分子的自由程受兩板間距d的限制。故上式中的A應該用d來代替，則有

式中 C2和C5-常數;

M-氣體分子量;

T-氣體分子溫度(K)。

從上式可知，此時F與壓力p成正比。粘滯性真空規就是利用上式的關系來測量氣體壓力的。

粘滯性真空規對被測氣體干擾小，可測量蒸氣和腐蝕性氣體的壓力，規管靈敏度與氣體種類有關。