壓阻式真空規的傳感器為壓阻式絕對壓力傳感器。它是利用集成電路的擴散工藝將四個等值電阻做在一塊硅片薄膜上，聯接為平衡電橋。硅膜片利用機械加工和化學腐蝕方法制成硅環，然后用金硅共熔工藝或用其他特殊工藝將硅環與襯片燒結在一起。硅環膜片內側為標準壓力(約1×10^-3Pa)，外側為待測壓力。結構如圖11-17所示。當硅膜片外側的壓力變化時，由于硅的壓阻效應使電橋四個臂的阻值發生變化，電橋失去平衡，得到對應于待測壓力的電壓信號。此信號經過放大器、控制單元、顯示單元等，顯示出相應的壓力數值。此規的測量范圍為10^5Pa～10Pa。
　　
　　北京真空儀表廠采用壓阻式絕對壓力傳感器生產的HLP-03型低真空計，其原理方框圖如圖11-18所示。
　　
　　儀器的測量范圍為1.1×10^5Pa～10Pa，滿量程的精度為0.5%。儀器的特點是線性測量精度高，與被測氣體種類無關，量程自動轉換。