用金屬彈性薄膜把規管分隔成兩個小室，一側接被測系統，另一側作為參考壓力室。當壓力變化時薄膜隨之而變形，其變形量可用光學方法測量，也可轉換為電容或電感量的變化用電學方法來測量，還可用薄膜上粘附的應變規來進行測量。
　　
　　近年來，電容薄膜規的發展很快，被廣泛應用于科研和工業領域。電容薄膜規分為兩種類型：一種將薄膜的一邊密封為參考真空，成為“絕壓式”電容薄膜規；另一種是薄膜的兩邊均通人氣體，成為“差壓式”電容薄膜規。電容薄膜規具有卓越的線性、較高的測量精度和分辨率。單個傳感器的測量范圍可覆蓋5個數量級的壓力區間，短期穩定性優于0.1%，長期穩定性（一年）優于0.4%。電容薄膜規的靈敏度與氣體種類無關，可測蒸氣和腐蝕性氣體的壓力，結構牢固，使用方便，還可作為粗低真空的副標準和傳遞標準。
　　
　　電容薄膜規的基本結構如圖11-16所示。它由兩個結構完全相同的圓形固定電極和一個公用的活動電極組成。活動電極薄膜將空間分成互相密封的測量室和參考室，固定電極和活動電極薄膜構成差動電容器并作為電橋的兩個橋臂。當活動電極處于中間位置時，兩個電容器的電容量相等，一旦活動電極由于壓差作用偏離中間位置時，則一個電容器的電容增加而另一個電容器的電容減小，由于電容變化造成電橋不平衡，因而產生輸出電壓，這個電壓經過放大器放大后，由檢波器轉換成直流電壓進行測量。不同的輸出電壓對應于不同的壓力，電容薄膜規就是利用這樣的原理達到測量壓力的目的。
　　
　　電容薄膜規的壓力測量范圍與膜片的厚度、直徑、材料、膜片的張力等有關，目前可供選擇的電容薄膜規包括滿量程13.3Pa、133Pa、1.33kPa、13. 3kPa、133kPa、1.33MPa和3.32MPa、的傳感器，可覆蓋的壓力范圍為10^-3Pa~10^6Pa。